薄膜太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明能够得到一种薄膜太阳能电池，通过在透明绝缘基板(1)上形成在基板面内相互分离的多个第一透明导电膜(2)，在第一透明导电膜(2)上形成第二透明导电膜，将第二透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在第一透明导电膜(2)上的第一粒状体(4b)，在第一透明导电膜(2)上以及分散的第一粒状体(4b)上形成发电层(5)，在发电层(5)上形成背面电极层(6)，从而实现具有表面粗糙度小的微细表面凹凸并且面内的电阻大致均匀的透明电极。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：第一透明导电膜形成工序，在透明绝缘基板上形成在基板面内相互分离的多个第一透明导电膜；第二透明导电膜形成工序，在所述第一透明导电膜上形成第二透明导电膜；蚀刻工序，将所述第二透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在所述第一透明导电膜上的第一粒状体；发电层形成工序，在所述第一透明导电膜上以及所述分散的第一粒状体上形成发电层；以及背面电极层形成工序，在所述发电层上形成背面电极层。