| 摘要 |
Чувствительный элемент сенсора паров углеводородов, выполненный в виде кремниевой подложки с двумя электродами, между которыми нанесен чувствительный пленочный слой, отличающийся тем, что в качестве материала чувствительного слоя использована тонкая пористая пленка диоксида кремния (SiO2). |
