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发明名称 Thermische Bearbeitungsvorrichtung und thermisches Bearbeitungsverfahren
摘要
申请公布号 DE10119047(B4) 申请公布日期 2010.12.09
申请号 DE20011019047 申请日期 2001.04.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 KITAMURA, MASAYUKI;MORISAKI, EISUKE;MO, YUN
分类号 G05D23/27;B01J19/08;G01J5/00;H01L21/00;H01L21/324 主分类号 G05D23/27
代理机构 代理人
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