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Es wird beschrieben ein System zur korrelativen optischen Mikroskopie und Teilchenstrahlmikroskopie einer Probe (3, 17), das umfaßt: ein SPI-Mikroskop (1) zur optischen Abbildung der Probe (3), das die Probe (3) entlang einer z-Richtung abbildet und im wesentlichen senkrecht dazu beleuchtet, wobei das SPI-Mikroskop eine Probenbewegungseinrichtung (12), welche die Probe (3) so bewegt, daß verschiedene Probenbereiche, die vor Bewegungsbeginn in unterschiedlichen Lagen zumindest längs der z-Richtung sind, zur Abbildung kommen, und eine Steuereinrichtung (13) aufweist, die Koordinatendaten erfaßt, welche einer zumindest in z-Richtung definierten Lage von in der Probe (3) detektierten Strukturen zugeordnet sind, eine Probenschneidevorrichtung (10, 11; 19, 20), die auf Basis der Koordinatendaten die Probe (3) schneidet, und ein Teilchenstrahlmikroskop (15) zur Teilchenstrahlmikroskopie der nach dem Abschneiden verbliebenen Probe (17).
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