发明名称 氯化铜蚀刻废液之精制方法及精制氯化铜溶液
摘要
申请公布号 TWI334853 申请公布日期 2010.12.21
申请号 TW095109650 申请日期 2006.03.21
申请人 鹤见曹达股份有限公司 发明人 松木诗路士
分类号 C01G3/05 主分类号 C01G3/05
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 一种氯化铜蚀刻废液之精制方法,系将蚀刻铜材料后之氯化铜溶液精制后得到氯化铜溶液之方法,其特征在于:在前述蚀刻废液不会生成固体成分(铜之氢氧化物)之pH值范围内,使该废液接触弱硷性阴离子交换树脂或强硷性阴离子交换树脂,藉此使杂质金属吸附于前述树脂上并除去后,得到精制氯化铜溶液。如申请专利范围第1项之氯化铜蚀刻废液之精制方法,其中前述pH值范围系1.5以下。如申请专利范围第1项之氯化铜蚀刻废液之精制方法,其中前述杂质金属系铁及锌。
地址 日本