发明名称 |
双涡电流单雷射非接触式厚度量测系统 |
摘要 |
一种双涡电流单雷射非接触式厚度量测系统,用以量测一待测物的厚度,该量测系统包含一包括一承载该待测物的导电部的基准滚轮、一设置于该待测物上方以量测一相对该导电部顶面的一第一距离的第一涡电流感测器、一间隔该第一涡电流感测器设置以量测一相对该导电部顶面的第二距离的第二涡电流感测器、一设置于该第一、二涡电流感测器之间以量测一相对该待测物顶面的第三距离的雷射位移感测器,及一分别电连接该第一、二涡电流感测器及该雷射位移感测器并计算一估测厚度值的计算模组,藉由该估测厚度值而可精准的得出该待测物的厚度。 |
申请公布号 |
TWM425269 |
申请公布日期 |
2012.03.21 |
申请号 |
TW100215897 |
申请日期 |
2011.08.25 |
申请人 |
财团法人精密机械研究发展中心 台中市西屯区工业区三十七路27号 |
发明人 |
卓家轩 |
分类号 |
G01B7/06 |
主分类号 |
G01B7/06 |
代理机构 |
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代理人 |
高玉骏 台北市松山区南京东路3段248号7楼;杨祺雄 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
主权项 |
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地址 |
台中市西屯区工业区三十七路27号 |