| 发明名称 |
对准记号及利用此对准记号校准制程之方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种对准记号，包括：一基底；一材料层，形成于该基底上；以及一记号，设置于该材料层上，包括由外而内排列之一第一次记号、一第二次记号以及一第三次记号，其中任意两次记号之宽度系相同。本发明另提供一种利用此对准记号校准制程之方法。 |
| 申请公布号 |
TWI362573 |
申请公布日期 |
2012.04.21 |
| 申请号 |
TW096146993 |
申请日期 |
2007.12.10 |
| 申请人 |
南亚科技股份有限公司 桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |
发明人 |
吴文彬;刘安雄 |
| 分类号 |
G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
桃园县龟山乡华亚科技园区复兴三路669号 |
