发明名称 |
PROCESS AND SYSTEM FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20120041234(A) |
申请公布日期 |
2012.04.30 |
申请号 |
KR20127005460 |
申请日期 |
2010.08.02 |
申请人 |
SCHMID SILICON TECHNOLOGY GMBH |
发明人 |
PETRIK ADOLF;HAHN JOCHEM;SCHMID CHRISTIAN |
分类号 |
C01B33/107;B01D46/38;B01J19/24 |
主分类号 |
C01B33/107 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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