发明名称 PROCESS AND SYSTEM FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 KR20120041234(A) 申请公布日期 2012.04.30
申请号 KR20127005460 申请日期 2010.08.02
申请人 SCHMID SILICON TECHNOLOGY GMBH 发明人 PETRIK ADOLF;HAHN JOCHEM;SCHMID CHRISTIAN
分类号 C01B33/107;B01D46/38;B01J19/24 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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