发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT THERMIQUE REACTIF AVEC ENRICHISSEMENT EN ELEMENT VI D'UN MATERIAU EN COUCHE MINCE.
摘要 <p>Procédé de traitement thermique avec enrichissement en élément VI d'un matériau (1) en couche mince, le procédé comprenant une ou plusieurs étapes d'enrichissement pendant lesquelles le matériau (1) est mis en contact avec un gaz réactif (5a) comprenant de l'élément VI à une pression partielle contrôlée, le procédé étant caractérisé en ce que, pour chaque étape d'enrichissement, le matériau (1) est placé dans un réacteur (3, 4, 5, 6, 7) où est injecté le gaz réactif de l'étape d'enrichissement, le gaz réactif étant obtenu en faisant barboter un gaz vecteur (16b) dans une charge (16a) comprenant de l'élément VI placée dans un conteneur (16) et en maintenant dans le conteneur des conditions de température et de pression choisies pour que le gaz réactif (5a) comprenne de l'élément VI dans une fraction massique prédéterminée (Xs) pour l'étape d'enrichissement.</p>
申请公布号 FR2970267(A1) 申请公布日期 2012.07.13
申请号 FR20110050191 申请日期 2011.01.10
申请人 NEXCIS 发明人 BROUSSILLOU CEDRIC;MORIN ERIC;BODNAR SYLVIE;NEMER MAROUN;CLODIC DENIS
分类号 C23C8/06;H01L21/383 主分类号 C23C8/06
代理机构 代理人
主权项
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