| 摘要 |
本发明提供一种可适当且迅速地进行被处理基板之除静电的静电吸持装置。;本发明之静电吸持装置系在将被处理基板W静电吸附于支持台(12)之表面的静电吸持装置(11)中，构成包含面向支持台(12)之表面的除静电用电极(16)、除静电用的接地电位(19)、以及连接于这些除静电用电极(16)与接地电位(19)之间的除静电用电阻(17)的除静电电路。除静电用电阻(17)的电阻系比支持台(12)表面的绝缘层(13)低，并且设定为静电吸持动作时可保持被处理基板W的电位、静电吸持解除时可使被处理基板W的电位逸退到接地电位(19)的设定值。藉由此构成，即可适当且迅速地进行被处理基板W的除静电。 |
