管状靶

摘要

本发明乃关于制造管状靶的方法，该靶是由Mo或Mo合金所构成，而每公克的氧含量小于50微克、密度大于理论密度的99%、平均晶粒尺寸小于100微米，并且该靶连接于支撑管，而其制造是以挤制来进行。