分割溅镀靶及其制造方法

摘要

本发明之分割溅镀靶及其制造方法，其提供如下技术：在将复数个靶构件接合而得到之分割溅镀靶中，可藉由溅镀而有效地防止背板(backing plate)的构成材料混入成膜之薄膜中。本发明是有关一种分割溅镀靶，系在背板上，将复数个靶构件藉由低熔点焊锡接合而形成之分割溅镀靶，其特征系沿着接合之靶构件间所形成的间隙，在背板上设置保护体。