电浆处理装置

摘要

提供一种电浆处理装置或电浆处理方法，其可以减少真空容器内配置之试料之产生异物。;一种电浆处理装置具有：配置于真空容器内部的处理室；及配置于该处理室内的试料台；使用上述处理室内形成之电浆对该试料台上载置之试料进行处理者；具备：构件，其构成上述处理室之内侧壁面，于该内侧壁面具有介电体部分；排气装置，用于对上述处理室内进行排气；及电场供给装置，于上述处理室内未形成电浆状态下对上述构件供给电场；藉由上述排气装置对上述处理室进行排气之同时，急速变化由上述电场供给装置供给之上述电场之大小。