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发明名称
透射电镜微栅及其制备方法
摘要
本发明涉及一种透射电镜微栅,包括一载体及一覆盖所述载体的石墨烯层-奈米碳管膜复合结构。其中,所述载体包括至少一个通孔,所述石墨烯层-奈米碳管膜复合结构包括一个石墨烯层和至少一层奈米碳管膜状结构,该奈米碳管膜状结构具有复数个微孔,所述石墨烯层覆盖所述复数个微孔。本发明还涉及一种透射电镜微栅的制备方法。
申请公布号
TWI413150
申请公布日期
2013.10.21
申请号
TW099122958
申请日期
2010.07.13
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
林晓阳;冯辰;张丽娜;姜开利
分类号
H01J37/26;H01J37/20
主分类号
H01J37/26
代理机构
代理人
主权项
地址
新北市土城区自由街2号
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