描绘装置及描绘方法

摘要

本发明之描绘装置之特征为包括：描绘部，其系利用荷电粒子束，在第1光罩基板上描绘第1图案，及在第2光罩基板上描绘与上述第1图案互补之第2图案；及加法部，其系将在上述第1光罩基板上所描绘之上述第1图案之位置偏移量加至上述第2图案之描绘位置；上述描绘部系在已加上上述第1图案之位置偏移量之上述第2光罩基板上的描绘位置，描绘上述第2图案。