电动真空阀

摘要

一种电动真空阀，具有构造包含第一连接埠51、第二连接埠52、阀室53及阀座54的阀部22、连接至步进马达27的送料螺钉34、轴心36、由轴心36与送料螺钉34构成的送料螺钉机构、中止轴心36之旋转的止转装置、安装于轴心36之先端的阀体42及回归弹簧44，其特征在于：停电时，在步进马达27之固定子与转子之间产生定位力矩，藉由使回归弹簧44之推力比定位力矩经送料螺钉机构转换后之抗力大而产生闭阀动作。