电子显微镜试片与其制备方法以及制作三维影像之方法

摘要

一种电子显微镜试片的制备方法。首先，提供一晶圆样品，其具有一待测区。接着进行一切割步骤，以在晶圆样品中切割出一待测片。待测片包含一标靶柱状结构，且待测区会位于标靶柱状结构之一顶端。最后，进行一薄化步骤，以薄化标靶柱状结构之顶端。本发明另提供一种制备三维影像的方法。