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经营范围
发明名称
半导体装置之制造方法及基板处理装置
摘要
申请公布号
TWI428986
申请公布日期
2014.03.01
申请号
TW099109584
申请日期
2010.03.30
申请人
日立国际电气股份有限公司 日本
发明人
佐藤武敏;经田昌幸
分类号
H01L21/314;C23C16/455
主分类号
H01L21/314
代理机构
代理人
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;王彦评 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项
地址
日本
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