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发明名称
改善された複合ゲッター
摘要
本発明は、ポリイミドまたはポリアミドに基づく化合物(23)で被覆されたNEG材料(22)を含む複合ゲッターシステム(20)に言及する。本発明は、少なくとも1つのNEG材料ならびに少なくとも1つのポリイミドおよび/またはポリアミドに基づく化合物を含む複合ゲッターシステムであって、周囲環境に面する前記NEG材料表面の少なくとも80%が、前記ポリイミドおよび/またはポリアミドに基づく化合物で被覆され、前記被覆物が、0.1から1mmの間の厚さを有することを特徴とする、複合ゲッターシステムである。
申请公布号
JP2015502839(A)
申请公布日期
2015.01.29
申请号
JP20140539436
申请日期
2012.10.25
申请人
サエス・ゲッターズ・エッセ・ピ・ア
发明人
アントニオ・ボヌッチ;パオロ・ヴァッカ
分类号
B01J20/02;B01J20/28;H01J7/18
主分类号
B01J20/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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