发明名称 半導体装置およびその製造方法
摘要 半導体基板と、半導体基板の表面または裏面に形成されており、第1金属膜と、第1金属膜と接合しており、第1金属膜とゼーベック係数が異なる第2金属膜とを有する複合金属膜と、第1金属膜と第2金属膜との電位差を検出可能な検出端子とを備えた、半導体装置を提供する。
申请公布号 JPWO2013035173(A1) 申请公布日期 2015.03.23
申请号 JP20130532358 申请日期 2011.09.07
申请人 トヨタ自動車株式会社 发明人 水野 義人
分类号 G01K7/02;H01L27/04;H01L29/739;H01L29/78;H01L35/20 主分类号 G01K7/02
代理机构 代理人
主权项
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