| 摘要 |
<p>【課題】基板との接触で損傷を与えない基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備を提供する。【解決手段】基板搬送加工の磁力挟持装置およびその搬送加工設備は、ハンガー１０、クリップ２は挟持部２０、および挟持部２０から離して設けられ、シーソー構造を呈する解放部２１を有する。挟持部２０は相互に開閉する二つの挟持壁２００を有し、二つの挟持壁２００はそれぞれ少なくとも一つの突起２０２を延伸し、突起２０２上には弾性材料からなるパッド２３が設けられることによりクリップ２が構成される。以上の構造により、基板を挟持するのに必要な接触面積を減少させ、エッチング、洗浄などの作業に悪影響を与えることを防ぐことができる。また、パッド２３による基板との接触で基板が受けうる損傷などの問題を軽減することができる。【選択図】図３</p> |
