| 摘要 |
<p>스타일러스를 측정면을 따라 매끄럽게 주사하여, 고정밀도이고 또한 고속인 형상 측정을 실현한다. 측정면과 평행한 방향으로 지정한 거리만큼 스타일러스(20)를 측정면에 대해 이동시키는 평행 이동과, 프로브(26)에 대한 스타일러스(20)의 위치의 변위량과 변위 방향을 포함하는 스타일러스 변위 벡터 D의 측정면에 법선 방향의 크기가 미리 정해진 눌러 넣기량의 설정값 C가 되도록, 프로브(26)를 현재의 스타일러스 위치 S와 과거의 스타일러스 위치 S의 차로부터 산출되는 측정면의 법선 방향으로 이동시키는 직교 이동을 포함하는, 프로브(26)의 측정면에 대한 상대 위치를 반복한다(Step 4, 5).</p> |
