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发明名称 SEMICONDUCTOR THIN FILM FORMING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02306617(A) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 JP19890128376 申请日期 1989.05.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA TAKESHI;SUGIURA HIDEO;IGA RYUZO
分类号 H01L21/205;H01L21/203 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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