发明名称 半導体ウェハの裏面研削加工用表面保護粘着テープおよび半導体ウェハの加工方法
摘要
申请公布号 JP5764600(B2) 申请公布日期 2015.08.19
申请号 JP20130059124 申请日期 2013.03.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;C09J7/02;C09J201/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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