发明名称 半導体単結晶棒の製造方法
摘要
申请公布号 JP5768764(B2) 申请公布日期 2015.08.26
申请号 JP20120123596 申请日期 2012.05.30
申请人 发明人
分类号 C30B13/30;C30B13/20 主分类号 C30B13/30
代理机构 代理人
主权项
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