ステージシステム、ステージシステムを備えるリソグラフィ装置

摘要

【解決手段】可動ステージと、可動ステージの位置を測定するエンコーダ型位置測定システムであって、エンコーダビームを放射するエミッタと、エンコーダビームと相互作用する第１回折格子と、第１回折格子との相互作用後のエンコーダビームを検出する検出器と、を有し、エンコーダビームは動作中光路に沿って伝搬する、エンコーダ型位置測定システムと、光路を少なくとも部分的に含むパージングエリアを包囲するパージングキャップと、パージングエリア内にパージング媒体を供給するパージング媒体供給デバイスと、を備えるステージシステム。【選択図】図１