微小孔径工件内壁的光学检测系统

摘要

本发明为一种微小孔径工件内壁的光学检测系统，本发明检测系统能一次性获得整周内壁的反射图像，采集得到的图片可保存于计算机上，并利用数字图像处理技术将其展开为工件内壁的360度展开图。其原理为由同轴光源发出的平行光竖直向下进入工件孔内，并且经过球形反射镜的反射照亮工件内壁。工件内壁上的反射光线再经过球形反射镜的反射向上，通过同轴光源的透光面进入远心镜头，从而在CCD中形成反射图像。工件内壁某高度上的一段圆环图像，经过反射可在CCD中形成相应的圆环图像。通过对CCD获得的反射图像运用数字图像处理技术，可将其变换为内壁整周展开图像。本发明解决了微小孔径的工件内壁图像获取难题，且降低了检测设备的成本。

主权项

一种微小孔径工件内壁的光学检测系统，其特征在于：所述的检测系统包括面阵CCD摄像机（1）、远心镜头（2）、同轴光源（3）、被测工件（4）、球形反射镜（5）、反射镜支架（6）、精密竖直位移平台（7）、精密水平位移平台（8）、光学支架（9）和计算机（10）；将远心镜头（2）与CCD摄像机（1）前段镜头装配起来，并与同轴光源（3）、被测工件（4）按照从上到下的顺序，依次固定在光学支架（8）之上，并调节光学支架位置，使镜头轴心与被测工件轴心在同一竖直轴线上，将球形反射镜（5）放置并固定于反射镜支架（6）上，并将反射镜支架（6）水平固定于精密竖直位移平台（7）上，精密竖直位移平台（7）和精密水平位移平台（8）组合使用，实现球形反射镜（5）所在空间位置的精密调节，调节精密竖直位移平台（7）的高度，使球形反射镜（5）从被测工件（4）的底部深入工件孔内部，并调整精密水平位移平台，使球形反射镜的中心位于被测工件竖直轴心上，将CCD摄像机（1）通过千兆网线与计算机（10）相连。