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发明名称 ウェハ保持構造およびそれを備えた蒸着装置
摘要
申请公布号 JP5818711(B2) 申请公布日期 2015.11.18
申请号 JP20120029262 申请日期 2012.02.14
申请人 发明人
分类号 C23C14/50;C23C16/44 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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