一种基板静电测试装置

摘要

本发明公开了一种基板静电测试装置，包括基板载台、设置在基板载台上方的静电发生装置和控制装置；基板载台上设置有静电感应装置；静电发生装置和静电感应装置与控制装置通信连接；控制装置控制静电发生装置放射静电，静电感应装置感应从基板流转的静电信息并传输至控制装置，控制装置根据静电信息处理并生成静电检测结果。本发明可通过静电放射调节装置精确调节静电发生装置静电释放电参数，满足测量稳定、准确、重复性等要求。本发明通过检测区域均匀分布静电探测器，可检测静电流转路径，在控制装置上生成静电传输路径图像，便于跟踪分析。本发明可检测跟踪静电传输路径，帮助分析静电损伤原因，辅助不良解析，对产品静电薄弱处改善。

主权项

一种基板静电测试装置，其特征在于：包括基板载台、设置在基板载台上方的静电发生装置和控制装置；所述基板载台上设置有静电感应装置；所述静电发生装置和所述静电感应装置与所述控制装置通信连接；所述控制装置控制所述静电发生装置放射静电，所述静电感应装置感应从基板流转的静电信息并传输至所述控制装置，所述控制装置根据所述静电信息处理并生成静电检测结果。