发明名称 片盒解锁装置
摘要 本发明公开了一种片盒解锁装置,用于对片盒解锁,其中片盒具有两个锁附孔。片盒解锁装置包括基座、驱动单元、活动件、丝杠、螺母、两个摆动气缸以及两个解锁件。驱动单元设置于基座。活动件可滑动地设置于基座,以接近或远离片盒。丝杠穿设于活动件并连接驱动单元,丝杠具有螺纹。螺母套设于丝杠并连接活动件。驱动单元驱动丝杠转动,丝杠通过螺纹带动螺母与活动件相对于基座滑动。两个摆动气缸分别设置于活动件。两个解锁件分别对应地设置于两个摆动气缸,并对应两个锁附孔。本发明提供的片盒解锁装置,采用一个驱动单元驱动活动件在基座上进行往复运动,对整个装置实现了较大的简化,且能方便地保证装置运动的准确性。
申请公布号 CN103199043B 申请公布日期 2015.12.16
申请号 CN201210005670.3 申请日期 2012.01.09
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 阮冬;王邵玉
分类号 H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种片盒解锁装置,用于对片盒解锁,所述片盒具有两个锁附孔,其特征在于,所述片盒解锁装置包括:基座;驱动单元,设置于所述基座;活动件,可滑动地设置于所述基座,以接近或远离所述片盒;丝杠,穿设于所述活动件并连接所述驱动单元,所述丝杠具有螺纹;螺母,套设于所述丝杠并连接所述活动件,所述驱动单元驱动所述丝杠转动,所述丝杠通过所述螺纹带动所述螺母与所述活动件相对于所述基座滑动;两个摆动气缸,分别设置于所述活动件;两个解锁件,分别对应地设置于所述两个摆动气缸,并对应所述两个锁附孔;第一挡板,设置于所述活动件;第二挡板,设置于所述活动件;第一滑动传感器,设置于所述基座,当所述第一滑动传感器感应到所述第一挡板时,所述活动件处于初始工位;第二滑动传感器,设置于所述基座,所述第二滑动传感器与所述片盒的距离小于所述第一滑动传感器与所述片盒的距离,当所述第二滑动传感器感应到所述第二挡板时,所述活动件处于解锁工位;第一限位传感器,设置于所述基座,所述第一限位传感器与所述片盒的距离大于所述第一滑动传感器与所述片盒的距离,当所述第一限位传感器感应到所述第二挡板时,限制所述活动件继续向远离所述片盒的方向运动;以及第二限位传感器,设置于所述基座,所述第二限位传感器与所述片盒的距离小于所述第二滑动传感器与所述片盒的距离,当所述第二限位传感器感应到所述第一挡板时,限制所述活动件继续向接近所述片盒的方向运动。
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