发明名称 制造网格图案型触控面板的方法
摘要 本发明公开了一种制造网格图案型触控面板的方法,属于触控面板制程技术领域。本发明使用光阻技术对透明导电材料蚀刻形成网格图案非导电区域来降低蚀刻痕迹,减少蚀刻废液利于环保;再来电镀金属导电材料,在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线,操作简单可以降低制造成本。
申请公布号 CN101968697B 申请公布日期 2015.12.16
申请号 CN201010252112.8 申请日期 2010.08.13
申请人 牧东光电(苏州)有限公司 发明人 陈栋南
分类号 G06F3/041(2006.01)I 主分类号 G06F3/041(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种制造网格图案型触控面板的方法,包括如下步骤,其特征在于:所述步骤在无尘干燥条件下进行;步骤一:对透明导电材料老化结晶,所述透明导电材料是氧化铟锡;步骤二:曝光蚀刻老化结晶透明导电材料,在温度40摄氏度状态下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域,所述盐酸的摩尔浓度范围值在4.1MOL/L到4.5MOL/L之间,所述蚀刻反应时间为30秒钟到60秒钟,所述网格图案为方块矩阵,其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;步骤三:在步骤二中透明导电材料表面电镀金属导电材料,所述金属导电材料是铜;步骤四:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;其中,在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线,所述光阻膜的厚度范围值在15微米到20微米之间,所述硫酸双氧水混合液的摩尔浓度值是1MOL/L,所述蚀刻反应时间为30秒钟到60秒钟;步骤五:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
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