| 发明名称 | 一种用于真空的三维形貌测量系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于真空的三维形貌测量系统，该测量系统工作于真空环境下，包括相连接的测量头和机械臂装置，所述测量头包括支架、投影组件、采集组件、计算机和电源，所述支架与机械臂装置连接，所述投影组件和采集组件设在支架上，所述电源与投影组件连接，所述计算机与采集组件连接；所述测量头在机械臂装置的带动下对准被测工件，投影组件对被测工件进行投影，采集组件采集被测工件的投影结果并传输给计算机，获得被测工件的三维形貌测量结果。与现有技术相比，本发明具有测量精度高、操作便携、能够适用于真空环境等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN105157615A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510374545.3 | 申请日期 | 2015.06.30 |
| 申请人 | 上海航天动力科技工程有限公司;兰州空间技术物理研究所 | 发明人 | 韩林;刘晓辉;史楷;何志成 |
| 分类号 | G01B11/25(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/25(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人 | 翁惠瑜 |
| 主权项 | 一种用于真空的三维形貌测量系统，其特征在于，该测量系统工作于真空环境下，包括相连接的测量头(1)和机械臂装置(3)，所述测量头(1)包括支架(101)、投影组件、采集组件、计算机(110)和电源(111)，所述支架(101)与机械臂装置(3)连接，所述投影组件和采集组件设在支架(101)上，所述电源(111)与投影组件连接，所述计算机(110)与采集组件连接；所述测量头(1)在机械臂装置(3)的带动下对准被测工件(4)，投影组件对被测工件(4)进行投影，采集组件采集被测工件(4)的投影结果并传输给计算机(110)，获得被测工件(4)的三维形貌测量结果。 | ||
| 地址 | 200233 上海市徐汇区桂平路680号32-33幢1-2楼34幢1楼 | ||