一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法

摘要

本发明公开一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法。该方法先将基体研磨、抛光、超声清洗，辅以离子清洗与刻蚀，然后采用先进等离子辅助电弧技术（APA-Arc），在一定负偏压、沉积温度、气体压强条件下，通过改变反应气体流量在基体表面沉积具有成分梯度结构的TiCN硬质涂层。与传统方法制备TiCN涂层相比，本发明显著有效提高了TiCN涂层的硬度和膜基结合能力，降低了表面粗糙度，提高耐磨性能，有效提高了涂层刀具和机械零部件的加工效率和使用寿命。且涂层工艺简单，易于实施，更适合于工业化生产。

主权项

一种等离子辅助电弧技术制备TiCN成分梯度硬质涂层的方法，其特征在于，具体步骤如下：1）基体表面预处理：将硬质合金和铁基合金基体依次研磨、抛光、超声清洗与真空干燥；2）基体表面离子清洗与刻蚀：采用电弧增强型辉光放电技术对基体表面进行离子清洗与刻蚀，增强膜基结合力；3）涂层蒸发沉积：在基体表面沉积成分梯度TiCN硬质涂层，涂层的心部层氮含量高，表面层碳含量高。