用于制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器

摘要

用于通过化学气相沉积制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器，微波等离子体反应器包括：等离子体室（2）；布置于等离子体室中用于支承基底的基底保持器（4），在使用时合成金刚石材料待沉积于所述基底上；用于将微波从微波产生器（8）给送至等离子体室内的微波耦合构造（12）；以及用于将处理气体给送至等离子体室内并且从其移除处理气体的气体流动系统（13、16），其中用于将微波从微波产生器给送至等离子体室内的微波耦合构造包括：形成于一个或若干个段中的环形介电窗口（18）；用于将微波给送至环形介电窗口的具有中心内导体（20）和外导体（22）的共轴波导管（14）；以及波导管板（24），所述波导管板（24）包括布置于环形构造中的多个孔（28），且多个臂（26）在孔之间延伸，每一个孔形成用于将微波朝向等离子体室耦合的波导管。

主权项

一种用于通过化学气相沉积制造合成金刚石材料的微波等离子体反应器，所述微波等离子体反应器包括：等离子体室；布置于等离子体室中用于支承基底的基底保持器，在使用时合成金刚石材料待沉积于所述基底上；用于将微波从微波产生器给送至等离子体室内的微波耦合构造；以及用于将处理气体给送至等离子体室内以及从等离子体室移除处理气体的气体流动系统，其中，用于将微波从微波产生器给送至等离子体室内的微波耦合构造包括：形成于一个或多个段中的环形介电窗口；用于将微波给送至环形介电窗口的共轴波导管，所述共轴波导管具有中心内导体和外导体；以及波导管板，所述波导管板包括布置于环形构造中的多个孔，且多个臂在所述孔之间延伸，每一个孔形成用于将微波朝向等离子体室耦合的波导管，其中，多个臂限定用于供给冷却剂和/或处理气体的一个或多个通道，其中，一个或多个通道包括构造成供给处理气体至一个或多个注射端口的至少一个通道，所述一个或多个注射端口布置为与基底保持器相对，以用于朝向基底保持器注射处理气体，其中，波导管板包括延伸跨过等离子体室并且由在孔之间延伸的多个臂支承的中心部分，以及其中，共轴波导管的中心内导体形成由波导管板的中心部分支承的浮动导体。