电浆处理装置;PLASMA PROCESSING APPARATUS

摘要

电浆蚀刻装置1系具备处理室2及排气机构30等；该处理室2系由第1室2a、第2室2b及第3室2c所构成；其中第1室2a，系设立有电浆生成部3；第2室2b，系于上部领域设立有处理部4，于下部领域设立有排气部5；第3室2c，系设立有歧管部6；而排气机构30系具有连接至第3室2c之开口部8之真空泵31；并设定成：相较于，歧管部6之有效截面积S1在前述开口部8之开口面积S3以上；排气部5之有效截面积S2在歧管部6之有效截面积S1以上；歧管部6之长度L1在第3室2c之形成有开口部8之部分的厚度L3以上，排气部5的高度L2在歧管部6之长度L1以上。