一种大幅面激光刻蚀系统及控制方法

摘要

发明属于激光刻蚀技术领域，具体是一种大幅面激光刻蚀系统及控制方法，包括计算机、固体激光器、三维位移系统、位置检测系统、振镜系统、振镜高度自适应系统、伺服电机系统。方法：三维位移系统将激光聚焦中心移动至位移系统的左基准零点，计算机将指令发送到三维位移系统，三维位移系统的小车匀速沿X轴向右移动，计算机接收小车的实际位置信号，控制振镜系统和固体激光器在相应的位置进行激光刻蚀，当小车运动到X轴右减速传感器后减速运动，小车停靠在右基准零点，三维位移系统沿Y轴移动设定距离，Y轴停止运动，小车沿X轴向左匀速运动，开始第二分割层的刻蚀。本发明功耗小，效率高，刻蚀精度高。满足各种尺寸图案的刻蚀。

主权项

一种大幅面激光刻蚀系统，其特征在于包括：计算机，用于控制三维位移系统、振镜系统，大幅面激光刻蚀图形的分割处理；固体激光器，用于大幅面激光刻蚀；三维位移系统，用于支撑固体激光器，并实现固体激光器沿X轴的移动；位置检测系统，用于向计算机实时传送小车当前的位置；振镜系统，用于按程序设定的模式将固体激光器输出的激光在Y轴方向扫描；振镜高度自适应系统，用于精确控制振镜与工件的高度；伺服电机系统，用于驱动位移系统；其中，计算机分别与固体激光器、振镜系统、伺服电机系统、位置检测系统连接，伺服电机系统、位置检测系统与三维位移系统连接。