| 发明名称 |
USING SPECTRA TO DETERMINE POLISHING ENDPOINTS |
| 摘要 |
연마 시퀀스 동안 획득되는 스펙트럼들을 사용하는 연마 엔드포인트를 결정하는 방법들이 개시된다. 특히, 단지 원하는 스펙트럼들만을 사용하는 빠른 검색 방법 및 보다 로버스트한 속도 결정 방법들을 위한 기술들이 개시된다. |
| 申请公布号 |
KR20150140400(A) |
申请公布日期 |
2015.12.15 |
| 申请号 |
KR20157033828 |
申请日期 |
2008.02.22 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LEE HARRY Q.;SWEDEK BOGUSLAW A.;BENVEGNU DOMINIC J.;DAVID JEFFREY DRUE |
| 分类号 |
B24B49/00;H01L21/304;B24B37/013;B24B49/12;G06F19/00;H01L21/306;H01L21/461;H01L21/66 |
主分类号 |
B24B49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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