制造多晶矽的反应器以及去除此类反应器部件上含矽沉积物的方法,申请号TW103117293-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	制造多晶矽的反应器以及去除此类反应器部件上含矽沉积物的方法
摘要
申请公布号	TWI512137	申请公布日期	2015.12.11
申请号	TW103117293	申请日期	2014.05.16
申请人	瓦克化学公司	发明人	伟克瑟　德克
分类号	C23C16/455	主分类号	C23C16/455
代理机构		代理人	陈翠华台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项	一种去除在制造多晶矽反应器的部件上的含矽沉积物的方法，其包括藉由含矽粒子而机械地去除所述沉积物，其中要去除在其上方之沉积物的反应器部件是废气管(off-gas tube)。
地址	德国

您可能感兴趣的专利

VORRICHTUNG IN EINEM SCHIFF ZUM BE-/ENTLADEN EINES FLIESSFÄHIGEN MEDIUMS AUF SEE

UNIDAD MODULAR DE FORMACION PERMANENTE DE EQUIPOS DE BOMBEROS.

INSTALACION DE DOSIFICACION MULTIPLE DE LIQUIDOS ODORIZANTES Y/O DESINFECTANTES PARA APARATOS DE AIRE ACONDICIONADO.

SISTEMA DE ACOPLAMIENTO Y MONTAJE INFERIOR DE PUERTAS CORREDERAS PARA MAMPARAS DE BAÑO.

RESINA EPOXIDICA MODIFICADA POR ELASTOMERO PARA COMPOSICIONES EN POLVO PARA REVESTIMIENTOS.

DISPOSICION PARA UNIR DOS O MAS INTERCAMBIADORES DE CALOR.

Granulares Waschmittel mit verbessertem Fettauswaschvermögen

Aus Einzelteilen zusammensetzbare verlegbare Brücke

Device for controlling the temperature in electric cushions, blankets, bed-warmers and the like.

Process for obtaining p-hydroxybenzaldehyde from p-hydroxymandelic acid on an industrial scale or one of their salts by electrochemical methods

Cap for barrels or vats

MUÑECO PRODUCTOR DE GESTOS CON MOVIMIENTO DE BRAZOS Y DOTADO DE VOZ.

Process and equipment for the manufacture of very thick heat-formed components from textile fibrous material

Round upright for the construction of buildings

FREIDORA ELECTRICA.

DISPOSITIVO PARA LA DETECCION DEL NUMERO DE REVOLUCIONES, EL SENTIDO DE ROTACION Y/O LA POSICION DEL ANGULO DE ROTACION DE UN MOTOR DE CONMUTADOR.

ALCACHOFA PARA DUCHA CON ADICION DE INGREDIENTES Y AIRE.

APARATO PARA SECAR UNA LAMINA CONTINUA DE PAPEL MOJADO DURANTE LA FABRICACION DE LA LAMINA DE PAPEL.