发明名称 图案化膜层的制造方法以及电致变色装置的制造方法
摘要
申请公布号 TWI512791 申请公布日期 2015.12.11
申请号 TW102130484 申请日期 2013.08.26
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 涂峻豪;詹仁宏;谢昊伦;龚国森;林亭均;曾任培
分类号 H01L21/203;G02F1/15 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种图案化膜层的制造方法,包含:提供一基材,其中该基材具有一第一面以及相对于该第一面之一第二面;提供一材料源,该第一面系朝向该材料源,且该材料源系用以提供复数个带电粒子;提供一磁性元件,其中该第二面设置于该磁性元件以及该第一面之间;以及藉由该磁性元件,以将该些带电粒子沉积于该第一面上,而形成一图案化膜层,其中该些带电粒子在该第一面上的至少二区域形成不同的膜层厚度,以形成该图案化膜层。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路1号