电解制程所用电极之制法

主权项

一种电解制法所用电极之制法，包括利用化学或物理蒸气沉积技术，在金属基材上，连续沉积贵金属或其氧化物之结实层，包括步骤为：-把该金属基材以预形成片，加载入物理沉积装置的一调理厢内；-以液力方式连接该调理厢、一沉积厢和一摘取厢，把该厢于第一压力水准减压，其中该第一压力水准范围在10-3和1Pa之间；-依序对该预形成片自动执行加载入该沉积厢内，在比第一压力水准为低的第二压力水准，以物理蒸气沉积该贵金属结实层，其中该第二压力水准范围在10-6和10-3Pa之间，并依序排放至该摘取厢等一循环者。