用以自基板之边缘追踪与移除涂层之系统及方法

主权项

一种用以自基板移除涂层之方法，该方法包含：定位一基板之一边缘；将一雷射光束沿一第一路径以一入射角导引至靠近该基板之定位边缘之在该基板之一表面上之一第一位置，该入射角适合沿一第二路径再导引该雷射光束，通过该基板，到达对应该基板之该定位边缘之在该基板之一第二表面上的一第二位置，该第二表面包含一涂层，该基板之折射率系与该基板外侧之外折射率不同，以使沿该第一路径导引之该雷射光束沿着该第二路径再导引；及剥蚀在该基板之该第二表面上之该第二位置处之涂层的至少一部份，以形成一第一未涂覆区段。