| 主权项 |
一种低温泵，其特征为，具备：低温板，具备用于吸附气体分子之吸附区域；低温泵容器，包围前述低温板；粗抽阀，用于将前述低温泵容器连接于粗抽泵；压力感测器，用于测定前述低温泵容器的内压；及控制部，用于控制前述压力感测器的停止期间和前述低温板的再生；前述控制部在前述再生的初始阶段设定前述停止期间，且为了在该停止期间进行至少一次前述低温泵容器的粗抽，而打开前述粗抽阀；前述控制部在经过前述停止期间时启动前述压力感测器；前述控制部在容许前述低温泵容器的内压超过100Pa之前述再生的第2阶段，使用前述压力感测器。
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