| 发明名称 |
改良的边缘环的周缘 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI512884 |
申请公布日期 |
2015.12.11 |
| 申请号 |
TW102129858 |
申请日期 |
2013.08.20 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
拉尼许乔瑟夫Ｍ;亚德霍德沃夫刚Ｒ;柯莫布莱克;拉维斯基伊利亚 |
| 分类号 |
H01L21/683 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
| 主权项 |
一种基板支撑环，包括：一环主体；一边缘周缘，该边缘周缘从该环主体的一表面向内径向延伸；及三或更多个基板支撑件，该等基板支撑件围绕着该边缘周缘的一圆周而大约等距地相间隔，其中该等基板支撑件是U形夹具。
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| 地址 |
美国 |
