主权项 |
一种连结构造,系为分别具备帮浦室及划分前述帮浦室之外壳之复数个真空排气装置之连结构造,其特征在于:前述复数个真空排气装置分别具备有连接于前述各外壳之马达;前述连结构造系具备:第一端面,系形成于前述外壳的第一侧;第二端面,系形成于前述外壳的与第一侧为相反侧之第二侧;复数个台座部,系分别包含前述第一端面,并形成于前述外壳的前述第一侧;以及复数个脚部,系分别包含前述第二端面,并形成于前述外壳的前述第二侧;藉由前述复个真空排气装置之各者的前述复数个台座部与前述复数个脚部的连结,使设置于复数个真空排气装置中之第一真空排气装置之前述第二端面与设置于前述第二真空排气装置之前述第一端面相接,而将前述第一真空排气装置的前述外壳以及前述第二真空排气装置的前述外壳直接重叠配置;藉由前述第一端面与前述第二端面之固接,前述第一真空排气装置以及前述第二真空排气装置彼此系连结成,使气体可流通于前述第一真空排气装置的前述外壳以及前述第二真空排气装置的前述外壳之间。
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