发明名称 Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements
摘要 Verfahren zum Herstellen eines Bauelements (100), umfassend: Bereitstellen von mehreren Modulen (10), wobei jedes der Module (10) einen Träger (11) und mindestens einen an dem Träger (11) angebrachten Halbleiterchip (12) umfasst, wobei die Module (10) untereinander unverbunden sind, wenn sie bereitgestellt werden; Aufbringen einer dielektrischen Schicht (13) auf den Modulen (10), um ein Werkstück (14) auszubilden; Strukturieren der dielektrischen Schicht (13), um mindestens einen der Halbleiterchips (12) zu öffnen; und Vereinzeln des Werkstücks (14), um mehrere Bauelemente (100) zu erhalten.
申请公布号 DE102009059236(B4) 申请公布日期 2015.12.10
申请号 DE20091059236 申请日期 2009.12.21
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 EWE, HENRIK;MAHLER, JOACHIM;PRUECKL, ANTON
分类号 H01L21/58;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/15;H01L23/28;H01L23/485 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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