一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置

摘要

一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置，涉及多晶硅。提供可大幅度降低能耗和成本、设备简单可靠、能保持多晶硅凝固前沿水平上升、提纯质量优良的一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置。设有顶盖、加热装置、壳体、保温层、坩埚、散热板；所述顶盖设于壳体的顶部，加热装置和坩埚设于壳体的腔体内，加热装置设于坩埚上方，加热装置的边缘延伸至腔体上部；所述保温层包裹在腔体内的外侧与底部，坩埚内盛放硅液，散热板置于坩埚正下方并与坩埚紧密贴合。

主权项

一种多晶硅定向凝固设备的侧壁热量补偿装置，其特征在于设有顶盖、加热装置、壳体、保温层、腔体、坩埚、散热板；所述顶盖设于壳体的顶部，加热装置、腔体和坩埚设于壳体内，所述腔体为轴对称结构，腔体围绕在坩埚的外侧面并与坩埚紧密接触，腔体的剖面为上窄下宽的渐变式直角三角形结构，直角三角形的斜面为内凹曲面，底面与斜面的夹角为73°～78°；加热装置设于坩埚上方，加热装置的边缘延伸至腔体上部并高于腔体开口3～10mm；所述保温层包裹在腔体外侧与底部，坩埚内盛放硅液，散热板置于坩埚正下方并与坩埚紧密贴合；所述保温层的厚度为100～350mm。