一种制备硫化锌光电薄膜的方法

摘要

一种制备硫化锌薄膜的方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗基片，然后将ZnCl₂、CH₄N₂S放入溶剂中，采用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜，烘干，放入有水合联氨的可密闭容器中，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，最后进行干燥，得到硫化锌光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得硫化锌光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺容易控制目标产物的成分和结构，为制备高性能的硫化锌光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。

主权项

一种制备硫化锌光电薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：a.玻璃基片或硅基片的清洗；b.将1.13～2.26份ZnCl₂·2H₂O、1.0～2.0份CH₄N₂S放入60～240份的溶剂中，使溶液中的物质均匀混合；c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片，并烘干，得到前驱体薄膜样品；d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前躯体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至160～220℃之间，保温时间10～60小时，然后冷却到室温取出；e.将步骤d所得产物，进行自然干燥，得到硫化锌光电薄膜；步骤a所述清洗，是将大小为2mm×2mm玻璃基片或硅基片，放入体积比三氯甲烷∶乙醇＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再将基片放入体积比丙酮∶蒸馏水＝5∶1的溶液中，超声波清洗；再在蒸馏水中将基片用超声波振荡；将上述得到的基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用；步骤d所述密闭容器内放入60.0～105.0份水合联氨。