发明名称 稳定改善石墨烯光电性能的退火方法
摘要 本发明公开了一种稳定改善石墨烯光电性能的退火方法,包括如下步骤:将制备好的石墨烯样品置于加热装置内,在空气环境中200~300℃条件下退火5~120min,最后将石墨烯样品迅速降温至10~30℃即可获得光电性能优良的石墨烯。本发明采取直接在管式炉中升温退火,然后迅速降温的方法获得了光电性能改善明显的石墨烯,该石墨烯为多晶的石墨烯薄膜,其不仅导电性能优良,且具有良好的透光率。本发明所述方法处理成本低,应用范围广,可以直接在两端敞开的管式炉内,温度可控的真空干燥箱内或热板上实现。
申请公布号 CN105140117A 申请公布日期 2015.12.09
申请号 CN201510501109.8 申请日期 2015.08.14
申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 发明人 魏大鹏;宋雪芬;孙泰;杨俊;申钧;史浩飞;杜春雷
分类号 H01L21/324(2006.01)I 主分类号 H01L21/324(2006.01)I
代理机构 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人 赵荣之
主权项 改善石墨烯光电性能的退火方法,其特征在于,包括如下步骤:将制备好的石墨烯样品置于加热装置内,在空气环境中于200~300℃条件下退火5~120min,最后将石墨烯样品迅速降温至10~30℃即可获得光电性能优良的石墨烯。
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