一种三自由度的运动工作台

摘要

一种三自由度的运动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有一个动子、一个定子和一套位置测量系统，定子包含有一个基台、一个盖板和一组线圈阵列；一组线圈阵列设置在基台凹槽内，盖板设置在线圈阵列上部；动子包含有一磁性流体；所述的磁性流体设置在盖板的上表面，在线圈阵列产生的变化的磁场中在盖板上表面沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；盖板上表面做表面疏水处理；所述的一套位置测量系统设置在动子的正上方。磁性流体作为动子可任意聚合或分散，承载物体时还可变换形状增大抓取的摩擦力，具有动子轻巧、灵活多变，结构简单等优点。

主权项

一种三自由度的运动工作台，含有动子、定子和位置测量系统(5)，所述的定子含有一个基台(1)、一个盖板(3)和一组线圈阵列(7)；所述的线圈阵列(7)设置在基台的凹槽内，盖板(3)设置在线圈阵列(7)上部；所述的位置测量系统(5)设置在动子的上方，其特征在于：所述的动子包括至少一个磁性流体单元(4)；该磁性流体单元(4)设置在盖板(3)的上表面，所述盖板的上表面是经过疏水处理的；所述的磁性流体单元(4)相对于盖板(3)沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动。