一种研磨垫及其制备方法、使用方法

摘要

一种研磨垫，包括：基底和固结在所述基底上的若干分立的磨料块，所述磨料块具有至少两种高度。本发明利用具有至少两种高度的磨料块，使得研磨垫在研磨晶圆的过程中，不会因为长时间的研磨导致研磨速率大幅下降，从而使得晶圆的研磨程度易于精确控制，提高了晶圆研磨的效果及良率。本发明还提供一种制备所述研磨垫的方法，利用该方法可以方便地制备本发明的研磨垫。相应地，本发明还提供应用所述研磨垫进行研磨的使用方法。

主权项

一种研磨垫，包括：基底和固结在所述基底上的若干分立的磨料块，其特征在于，所述磨料块具有至少两种高度，当所述磨料块具有两种高度时，所述两种高度的磨料块高低间隔分布，当所述磨料块具有三种及其以上高度时，所述磨料块按从高到低或从低到高或高低间隔的顺序周期性分布；其中，不同高度的所述磨料块的成分相同，均由磨料颗粒与树脂胶粘剂构成，所述磨料块的形状为圆柱形或梯形台，所述高度低于最高高度的磨料块在研磨液中浸泡一段时间后，磨料颗粒能露出一部分起研磨作用。